{rfName}

Indexat a

Llicència i ús

Altmetrics

Grant support

The authors thankthe US Department of Energy, Office of Science, Basic Energy Sciences (under award no. DE-SC0018924), the US Army Research Office (under Award no. W911NF2020116) and the National Science Foundation (award NSF CBET -1914539). The experiments were performed with a NanoFrazor system acquired through award no. NSF MRI -1929453. This Primer is part of a project that has received funding from the European Union's Horizon 2020 research and innovation programme under grant agreement number 948225, project B3YOND. This work was partially performed at PoliFAB, the microtechnology and nanotechnology centre of the Politecnico di Milano.

Anàlisi d'autories institucional

Calò, AnnalisaAutor o coautor
Compartir
Publicacions
>
Article

Thermal scanning probe lithography

Publicat a:Nature Reviews Methods Primers. 2 (1): 32- - 2022-05-05 2(1), DOI: 10.1038/s43586-022-00110-0

Autors: Albisetti, E; Calo, A; Zanut, A; Zheng, XR; de Peppo, GM; Riedo, E

Afiliacions

Inst Bioengn Catalonia IBEC, Nanoscale Bioelect Characterizat Grp, Barcelona, Spain - Autor o coautor
Institute for Bioengineering of Catalonia - Autor o coautor
Nanoscale Bioelectrical Characterization. Institute for Bioengineering of Catalonia - Autor o coautor
NYU, Tandon Sch Engn, New York, NY 10003 USA - Autor o coautor
Polytech Univ Milan, Dept Phys, Milan, Italy - Autor o coautor
Univ Barcelona, Dept Elect & Biomed Engn, Barcelona, Spain - Autor o coautor
Westlake Univ, Sch Engn, Hangzhou, Zhejiang, Peoples R China - Autor o coautor
Veure més

Resum

Thermal scanning probe lithography (tSPL) is a nanofabrication method for the chemical and physical nanopatterning of a large variety of materials and polymer resists with a lateral resolution of 10 nm and a depth resolution of 1 nm. In this Primer, we describe the working principles of tSPL and highlight the characteristics that make it a powerful tool to locally and directly modify material properties in ambient conditions. We introduce the main features of tSPL, which can pattern surfaces by locally delivering heat using nanosized thermal probes. We define the most critical patterning parameters in tSPL and describe post-patterning analysis of the obtained results. The main sources of reproducibility issues related to the probe and the sample as well as the limitations of the tSPL technique are discussed together with mitigation strategies. The applications of tSPL covered in this Primer include those in biomedicine, nanomagnetism and nanoelectronics; specifically, we cover the fabrication of chemical gradients, tissue-mimetic surfaces, spin wave devices and field-effect transistors based on two-dimensional materials. Finally, we provide an outlook on new strategies that can improve tSPL for future research and the fabrication of next-generation devices.

Paraules clau
Beam lithographyDesignFeature sizeForce microscope cantileversMos2PolymerSiliconSpeedThermochemical nanolithographyTip

Indicis de qualitat

Impacte bibliomètric. Anàlisi de la contribució i canal de difusió

El treball ha estat publicat a la revista Nature Reviews Methods Primers a causa de la seva progressió i el bon impacte que ha aconseguit en els últims anys, segons l'agència Scopus (SJR), s'ha convertit en una referència en el seu camp. A l'any de publicació del treball, 2022, es trobava a la posició , aconseguint així situar-se com a revista Q1 (Primer Cuartil), en la categoria Medicine (Miscellaneous). Destacable, igualment, el fet que la revista està posicionada per sobre del Percentil 90.

Des d'una perspectiva relativa, i tenint en compte l'indicador de impacte normalitzat calculat a partir de les Citacions Mundials proporcionades per WoS (ESI, Clarivate), proporciona un valor per a la normalització de citacions relatives a la taxa de citació esperada de: 1.71. Això indica que, comparat amb treballs en la mateixa disciplina i en el mateix any de publicació, el situa com un treball citat per sobre de la mitjana. (font consultada: ESI 14 Nov 2024)

Aquesta informació es reforça amb altres indicadors del mateix tipus, que encara que dinàmics en el temps i dependents del conjunt de citacions mitjanes mundials en el moment del seu càlcul, coincideixen a posicionar en algun moment el treball, entre el 50% més citats dins de la seva temàtica:

  • Field Citation Ratio (FCR) de la font Dimensions: 6.67 (font consultada: Dimensions May 2025)

Concretament, i atenent a les diferents agències d'indexació, aquest treball ha acumulat, fins a la data 2025-05-10, el següent nombre de cites:

  • WoS: 20
  • Scopus: 24
  • OpenCitations: 18
Impacte i visibilitat social

Des de la dimensió d'influència o adopció social, i prenent com a base les mètriques associades a les mencions i interaccions proporcionades per agències especialitzades en el càlcul de les denominades "Mètriques Alternatives o Socials", podem destacar a data 2025-05-10:

  • L'ús, des de l'àmbit acadèmic evidenciat per l'indicador de l'agència Altmetric referit com a agregacions realitzades pel gestor bibliogràfic personal Mendeley, ens dona un total de: 46.
  • L'ús d'aquesta aportació en marcadors, bifurcacions de codi, afegits a llistes de favorits per a una lectura recurrent, així com visualitzacions generals, indica que algú està fent servir la publicació com a base del seu treball actual. Això pot ser un indicador destacat de futures cites més formals i acadèmiques. Aquesta afirmació està avalada pel resultat de l'indicador "Capture", que aporta un total de: 45 (PlumX).

Amb una intenció més de divulgació i orientada a audiències més generals, podem observar altres puntuacions més globals com:

  • El Puntuació total de Altmetric: 14.3.
  • El nombre de mencions a la xarxa social Facebook: 1 (Altmetric).
  • El nombre de mencions a la xarxa social X (abans Twitter): 8 (Altmetric).

És fonamental presentar evidències que recolzin l'alineació plena amb els principis i directrius institucionals sobre Ciència Oberta i la Conservació i Difusió del Patrimoni Intel·lectual. Un clar exemple d'això és:

  • El treball s'ha enviat a una revista la política editorial de la qual permet la publicació en obert Open Access.
  • Assignació d'un Handle/URN com a identificador dins del Dipòsit en el Repositori Institucional: http://hdl.handle.net/11311/1221264
Anàlisi del lideratge dels autors institucionals

Aquest treball s'ha realitzat amb col·laboració internacional, concretament amb investigadors de: China; Italy; United States of America.